概述


nXDS-C 泵是改進型的 nXDS，適用于蒸汽處理制程，可用于某些涉及腐蝕性物質(zhì)的泵送應(yīng)用。nXDS-C 型具有 Chemraz

 

® 內(nèi)部閥和不銹鋼接頭，可提供額外的泵送介質(zhì)防護。

用途
· 一般清潔泵送應(yīng)用
· 電子掃描顯微鏡 – SEM
· 射束線和高能物理
· 前級渦輪泵
· 超高速離心機
· 覆層
· 低溫學(xué)
· 脫氣/硫化 – 油，環(huán)氧樹脂
· 蒸餾/萃取/過濾
· 冷凍干燥
· 熔爐
· 凝膠體干燥
· 實驗室工作臺上真空
· 激光、氣體回收和再循環(huán)
· 氦檢漏儀
· 負載鎖和傳輸腔
· 稀有氣體再循環(huán)
· 稀有氣體回收
· 冷凍制造
· 研發(fā)
· 旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器
· SEM/FIB（離子束維修）
· 溶劑回收
· 表面科學(xué)儀器
 

 

 

特點

· 真空外殼中不需要使用潤滑劑，完全密封可保證徹底的清潔和干燥真空，防止交叉污染
· 無大氣壓到真空的軸封可使軸承完全隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運行，使用時間更長
· 無需更換潤滑油，也就消除了處置被污染的潤滑油所需的費用
· 簡單的單側(cè)滾軸設(shè)計意味著例行維護工作可在數(shù)分鐘內(nèi)完成，降低運行成本，盡可能延長正常運行時間
· 用于實現(xiàn)蒸汽泵送的氣鎮(zhèn)功能

 

確切地說，nXDS 泵是干式真空泵，和所有軸承及其碳氫化合物潤滑劑一樣，與真空環(huán)境是隔離的。 nXDS 泵適用于蒸汽處理制程，可用于某些涉及腐蝕性物質(zhì)和微粒的泵送應(yīng)用。