XDS100B渦旋式真空泵

概述

XDS100B 是滾軸增壓泵，具備專門針對高抽速用途的泵送機(jī)械裝置。與所有增壓泵一樣，它需要與主泵一同使用，非常適合與 Edwards XDS35i 或 XDS46i 滾軸泵搭配。當(dāng)入口壓力在 1 mbar 到 10 mbar 之間時(shí)，XDS100B 針對最大抽速進(jìn)行了優(yōu)化，因此非常適合超高吞吐量的 LCMS 應(yīng)用。先進(jìn)的泵設(shè)計(jì)使得末端密封磨損幾乎消失，也就減少了維修干預(yù)，盡可能延長正常運(yùn)行時(shí)間。
變換器驅(qū)動(dòng)允許泵連接到單相電源，控制著電機(jī)的特性，確保泵總是以優(yōu)化速度運(yùn)行，并使用戶可以對泵進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。

技術(shù)

滾軸泵利用相互交錯(cuò)的固定和軌道滾軸來產(chǎn)生非接觸式新月形氣泡，并通過軌道運(yùn)行不斷對其進(jìn)行壓縮。這意味著，與油密封旋轉(zhuǎn)泵不同，在泵移動(dòng)量中不需要密封劑或潤滑劑

 

 

 

 

特點(diǎn)優(yōu)勢

真空外殼中不需要使用潤滑劑，完全密封可保證徹底的清潔和干燥真空，防止交叉污染
無大氣壓到真空的軸封可使軸承完全隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運(yùn)行，使用時(shí)間更長
無需更換潤滑油，也就消除了處置被污染的潤滑油所需的費(fèi)用
簡單的單側(cè)滾軸設(shè)計(jì)意味著維護(hù)工作可在數(shù)分鐘內(nèi)完成，降低運(yùn)行成本，盡可能延長正常運(yùn)行時(shí)間
變換器驅(qū)動(dòng)可使抽速穩(wěn)定維持在 50/60Hz

技術(shù)參數(shù)

抽速
50 或 60Hz	95 m3h-1/56 ft3min-1
極限真空（總壓力）*	<1 x 10-2 mbar / <8 x 10-3 Torr
最大連續(xù)進(jìn)氣口壓力	20 mbar/15 Torr
最大連續(xù)出口壓力	60 mbar / 45 Torr
短時(shí)內(nèi)進(jìn)氣口處的最大允許壓力	0.5 bar 表壓/7 psig
要從大氣抽空的最大真空腔體積	100 升
用于循環(huán)負(fù)載的最大真空腔體積 – 最大為每小時(shí) 6	50 升
電機(jī)功率	0.52 kW
標(biāo)稱轉(zhuǎn)速	1750 rpm
重量	48 kg/105 lb
入口法蘭	NW40
排氣口法蘭	NW40
噪音級別	52.1 dB(A)
振動(dòng)	<4.5mms -1 (rms)
密封性（靜態(tài)）	<1 x 10-6 mbar ls-1
工作溫度范圍	10 至 40 °C/50 至 104 °F

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